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真空玻璃内部放置吸气剂的难度和使用现状

来源:http://www.landvac.cn/news/324.html  发布时间:2018-12-25

1、真空玻璃放置吸气剂的难度


任何真空器件,特别是高真空器件,即使封离真空度达到指标,由于材料放气及渗漏等原因真空度还会下降,性能变差,直至寿命终结。要想延长寿命和保证器件性能,除在真空获得时严格规范生产工艺外,还必需在器件内部放置吸气剂。因此,真空玻璃也必须像其它电真空器件一样放入吸气剂。1987 年,美国科罗拉多太阳能研究所D. K. Benson 教授提出在真空玻璃内部放置吸气剂;1989 年,悉尼大学R. E. collins 教授也在专利中提出把吸气剂放入真空玻璃。由于当时材料性能等条件的限制,这些专利均无法实施。


1995 年,悉尼大学将真空玻璃专利使用权转让给日本板硝子(NSG)公司,并于1997 年投产。当时生产的真空玻璃没有经过高温排气,也未放置吸气剂。经过一段时间曝晒后,真空度下降,真空寿命失效。真空技术网(http://www.chvacuum.com/)认为当时放置吸气剂的难度主要是:在制作真空玻璃过程中要在大气中加热到400 ℃以上高温来实现边缘熔封,放入的吸气剂因高温氧化失效而失去吸气能力。


2、真空玻璃内部使用吸气剂现状


2002 年,真空玻璃发明人唐健正教授在专利中提出在真空玻璃中放置包封吸气剂,包封吸气剂是指将吸气剂(非蒸散型)放在金属薄壁容器(包封盒)内,包封盒经抽真空,在吸气剂高温激活后钎焊密封。真空玻璃封离后,使用激光透过玻璃将包封盒打一小孔,吸气剂可以通过小孔吸收真空玻璃腔体内的气体。


直到2005 年,随着技术和材料的发展,日本NSG 公司在专利中提出在真空玻璃中放置蒸散型吸气剂,将真空玻璃抽气口下方打出环状收容孔,放置改善性耐高温Ba-Al 合金为吸气材料的蒸散型吸气剂。在真空玻璃封离后,对其施加高温,将吸气剂蒸发,使钡膜附着在上层平板抽气孔附近有限的面积上,吸附气体分子。


V玻(全钢化真空玻璃)在连续超高真空环境下进行封离,确保V玻腔体内部具备了稳定的高真空度,是保障V玻具备优异性能的前提,同时,持续稳定的真空度也为V玻的超长寿命提供了保证。


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