真空的划分
来源:http://www.landvac.cn/news523903.html 发布时间:2017-05-31 0:00:00
现代许多高精密度的产品在制造过程中的某些阶段必需使用程度不一的真空才能制造,如半导体、硬盘、镜片。在实验室和工厂中制造真空的方法是利用泵在密闭的空间中抽出空气以达到某种程度的真空。在真空技术中按照压力的高低我们可以区分为:
粗略真空(Rough Vacuum) 760 ~ 10 Torr
中度真空(Medium Vacuum) 10 ~ Torr
高真空 (High Vacuum)~ Torr
超高真空(Ultra-High Vacuum) Torr以下
我国对于真空划分标准是:
低真空:105~102Pa
中真空:102~10-1Pa
高真空:10-1~10-5Pa
超高真空:<10-5Pa
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